直線集束ビーム超音波顕微鏡による層状構造媒質の評価法に関する研究 : ガラス薄膜/シリコン単結晶基板について
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概要
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本報では、直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡による層状構造材料の評価法の応用として、ガラス薄膜/シリコン基板構造をとりあげる。弾性特性が異なる3つのガラス膜に対して理論解析を行ない、基本漏洩レイリーモードおよび高次モードの位相速度、規格化伝搬減衰のfH依存性(f:超音波周波数、H:膜厚)とガラスの音響特性の関係を明らかにした。位相速度はfHが大きくなるに従い単調に減少する。漏洩セザワ波の伝搬特性におけるカットオフ特性を利用して膜厚を決定する方法を提案し、溶融石英薄膜をシリコン基板上に形成した試料に対して適用した結果、決定した膜厚を用いて実験的に得られた漏洩レイリー波と漏洩セザワ波のfH依存性は理論計算値と良く一致し、LFB超音波顕微鏡による評価法の可能性が示された。
- 1995-09-22
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