直線集束ビーム超音波顕微鏡によるMgO:LiNbO_3単結晶の音響特性に関する基礎的検討
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概要
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本報では、直線集束ビーム超音波顕微鏡により光用MgO(5mol%):LiNbO_3単結晶の均質性を評価するための基礎的検討として、MgO濃度の異なるLiNbO_3単結晶のX-cut, Y-cut, Z-cut各基板面に対し音響特性を測定した。各基板面上の漏洩弾性表面波(LSAW)速度はMgOの濃度に依存し単調に増大した。引き上げ軸方向の均質性の評価を直接的かつ容易に行なうためには、Y-cut基板を用いるのが最も適当であることが分かった。MgO(5mol%):LiNbO_3単結晶の一例に対して本評価法を適用したところ、LSAW速度が上部側から下部側へとほぼ一定勾配で小さくなることを明らかにした。この結果、Y-cut基板のX軸伝搬とZ-cut基板のX軸伝搬に対して、速度分布が平坦になるように結晶育成条件を制御すればよいことを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
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