F3 直線集束ビーム超音波顕微鏡によるSAWデバイス用LiNbO_3およびLiTaO_3ウェハの評価
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1991-12-02
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