コプラナーストリップ状dc-SQUIDの特性評価
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概要
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SQUIDの電流-電圧(I-V)特性の解析的な計算をもとに、小さな面積の検出コイルがついたコプラナーストリップ状の縦型SQUID磁束計を作製し、その特性評価を行った。傾角30°, 膜厚300nmの基板上に作製したSQUID磁束計では臨界電流が大きかったため、Arイオンエッチングでジョセフソン接合部の膜厚を薄くし、β_Lを1に近づけることにより変調電圧の増大を試みた。外部交流磁場を印加して算出した実効面積は0.082mm^2となり、ホワイトノイズレベルでの磁場感度は0.24pT/√Hzであった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-07-28
著者
-
平野 悟
山形大学工学部
-
鈴木 大介
電子技術総合研究所
-
小山 洋
北海道大学電子科学研究所
-
松田 端史
室蘭工業大学
-
栗城 眞也
北海道大学電子科学研究所
-
平野 悟
北海道大学電子科学研究所
-
松田 瑞史
室蘭工業大学
-
小柳 正男
電子技術総合研究所
-
松田 瑞史
室蘭工業大学工学部
-
平野 悟
山形大
-
平野 悟
山形大 工
-
栗城 眞也
北海道大学
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