シリコン系可視発光層形成プロセスとしてのフォトケミカルエッチング法の提案とパーコレーションモデルによる特性解析
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概要
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シリコン系可視発光材料の研究開発は, 将来のシリコンによる光電子デバイス開発のために重要である.本研究ではシリコン系可視発光材料作成プロセスとして, 表面光化学反応を用いたフォトケミカルエッチング法を提案する.エッチング時間を変化させ作成したフォトケミカルエッチング層からの可視発光特性としてHe-Cd laser励起によるフォトルミネッセンスを観測し, また構造特性として水素前方散乱法による膜内の水素量を測定した.フォトケミカルエッチング層は明るい室内で目視により観測可能な強いフォトルミネッセンスを示すことを明らかとした.更に, 本研究ではエッチング過程を安定的に考察するモデルとして逆パーコレーションモデルを提案し, フォトケミカルエッチング層の発光・構造特性について検討した.その結果, フォトケミカルエッチング法がパーコレーションモデルにより理論的に考察可能で, かつ強い発光強度を得るためのシリコン系可視発光材料形成プロセスとして重要であることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-11-25
著者
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