精密な位置合せ不要の濃淡画像比較によるパターン欠陥検査手法(画像処理,画像パターン認識)
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概要
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本論文では,ウェーハやプリント基板パターンの自動外観検査への応用を目的とした,精密な位置合せが不要な濃淡画像比較によるパターン欠陥検査アルゴリズムを提案する.従来から,精密な位置合せを不要とした2値画像による比較検査アルゴリズムが提案されているが,より微細な欠陥を検出するためには濃淡画像への拡張が不可欠である.従来の2値画像を対象とした方法では,検出の不感帯の存在により,微小なパターン欠損を見逃す場合があるなどの問題があり,更に濃淡画像へ拡張してサブピクセルでの欠陥検出精度を得ようとした場合,エッジ部における誤検出への対応が課題となる.本提案手法では,従来の2値画像による方法をベースとして濃淡画像への拡張を行い,モフォロジーにおけるグレー膨張・収縮処理を利用して,エッジ部の許容範囲を動的に変更することにより,エッジ部での誤検出を抑える.更に欠陥を検出する過程にてグレー膨張処理を利用することで,検出不感帯による微小なパターン欠損の見逃しにも対応した.テスト画像による実験を通して,提案手法の有効性を確認するとともに,実用的なハードウェア規模で実現可能なことを示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-11-01
著者
-
大西 浩之
大日本スクリーン製造
-
辰巳 昭治
大阪市立大学
-
辰巳 昭治
大阪市立大学大学院工学研究科電子情報系専攻
-
辰巳 昭治
大阪市立大学 大学院 工学研究科
-
大西 浩之
大日本スクリーン製造(株)技術開発カンパニー
-
佐々 泰志
大日本スクリーン製造株式会社技術開発センター
-
永井 健太
大日本スクリーン製造株式会社ソフトセンター
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