低温吸着濃縮/ガスクロマトグラフィーによる高純度窒素中の微量水分の定量
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概要
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高純度ガス中に含まれる極低濃度の水分の定量を行うため,冷却した吸着剤を利用して水分の濃縮を行った.濃縮された水分は,吸着剤の加熱により脱離し,熱伝導度検出器を備えたガスクロマトグラフにより分離検出した.この方法は,極めて高感度であり,高純度窒素中の0.1 ppm以下の水分を容易に定量することができた.高圧容器詰めの窒素,混合ガスについて水分濃度を測定し,容器の温度及び圧力に対する水分濃度の変化を測定し,その影響を明らかにした.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1987-04-05
著者
-
加藤 健次
産業技術総合研究所
-
加藤 健次
工業技術院化学技術研究所
-
冨田 弘
工業技術院化学技術研究所
-
佐藤 訓孝
工業技術院化学技術研究所
-
加藤 健次
工業技術院物質工学工業技術研究所計測化学部
-
前田 恒昭
電気化学計器
-
前田 恒昭
独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科
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