相関光音響分光法による層状試料の深さ方向分析(<特集>表面・界面・薄膜と分析化学)
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概要
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相関光音響イメージング法による非破壊三次元解析法を開発した.信号解析にシグナルアナライザー(FFT)を用いることにより, 完全自動化に成功した.試料として, 25μmないし50μm厚のポリプロピレン膜の両面に, 図柄を描いたものを使用した.試料表面より得られる第一種相関光音響スペクトルと, 下層より得られるスペクトルの強度が最大値となる遅れ時間でイメージング処理を行うことにより, 各層ごとのイメージ測定に成功した.又同様の測定をX線領域においても行った.X線領域における測定では, 銅はくテープを高分子プレート上にはり, その上に保護層が存在するものとそうでないものを交互に配置した試料を用いた.二次元法では分離できなかった深さの違いを, 相関光音響イメージング法によって分離することに成功した.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1991-11-05
著者
-
加藤 健次
産業技術総合研究所
-
杉谷 嘉則
神奈川大学理学部
-
武井 尊也
神奈川大学理学部
-
加藤 健次
工業技術院化学技術研究所
-
加藤 健次
工業技術院物質工学工業技術研究所計測化学部
-
杉谷 嘉則
筑波大化
-
杉谷 嘉則
神奈川大学(理学部化学科)
-
Takei T
Department Of Chemistry Faculty Of Science Kanagawa University
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