大気圧イオン化質量分析法による高純度窒素ガス中の微量酸素の定量
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概要
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大気圧イオン化質量分析法を用いて,高純度窒素ガス中の微量酸素の定量を行った.イオン源の放電電流や中間圧力部に印加するドリフト電圧の最適値について検討すると共に配管,減圧弁などでの空気の残留や混入を極力避けることにより,バックグラウンドを約2ppbまで減少させた.又,共存する水は,酸素定量に影響があり,モレキュラーシーブトラップで除去した.高圧容器詰め窒素ガス中の酸素の,標準添加法による定量値は3〜5ppbであった.又マススペクトルの積算により1ppb以下の濃度に対しても,S/Nの良い測定が可能であり酸素除去精製カラムを通した窒素ガス中の酸素定量値は,約0.1ppbであった.
- 1988-08-05
著者
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加藤 健次
産業技術総合研究所
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加藤 健次
工業技術院化学技術研究所
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王 林珍
中国計量科学研究院標準物質所
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冨田 弘
工業技術院化学技術研究所
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佐藤 訓孝
工業技術院化学技術研究所
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加藤 健次
工業技術院物質工学工業技術研究所計測化学部
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