レーザーアブレーション支援高周波ヘリウムグロー放電発光分光法の開発
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概要
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グロー放電発光分光法の深さ方向分析の高精度化を行うために, レーザーアブレーションによる試料電極からのサンプリングと高周波ヘリウムグロープラズマによる試料原子の励起を試みた. その結果レーザーアブレーションによるプラズマへの試料導入は可能であり, パルスレーザー照射後100 μs〜7 msの期間に高周波ヘリウムグロープラズマによる試料原子の励起が可能であることが分かった. 高周波ヘリウムグロープラズマはスパッタリングをほとんど起こさないため, これらの方法によりサンプリング過程と励起過程を独立して制御でき, 深さ方向分析の高精度化が可能になるものと思われる. また, 以前に開発した自己バイアス電流制御法も本法に適用可能で, 試料原子の発光強度の増大や準安定状態のヘリウム原子(高励起能力を持つ)のさらなる生成が認められた. これらはグロー放電発光分光法の高感度化に利用できるものと思われる.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 2000-11-05
著者
-
我妻 和明
東北大学金属材料研究所
-
北川 邦行
名古屋大学高温エネルギー変換研究センター
-
北川 邦行
名古屋大学エコトピア科学研究所エネルギー科学研究部門
-
北川 邦行
名古屋大学
-
北川 邦行
Research Center For Advanced Energy Conversion Nagoya University
-
松田 秀幸
東北大学金属材料研究所
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