バイアス電流導入型高周波グロー放電プラズマにおけるクロムの発光線の励起挙動(<特集>若手研究者の初論文特集)
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概要
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バイアス電流を高周波グロー放電プラズマに導入すると,プラズマの特性が変わり,各発光線の発光強度が大きく変化する.このバイアス電流導入による励起機構について,Crの発光線を用いたBoltzmann Plot法による検討を行った.プラズマガス圧が4 Torrの場合,バイアス電流導入の前後でBoltzmann Plotの傾向は大きく異なった.これはバイアス電流導入によりプラズマ内に導入された電子がプラズマ電位により決まる固有の運動エネルギーを持ち,Cr原子の各励起準位の間に選択的励起が起こったためと,Cr原子とArイオンとの間の電荷移動衝突に対してはバイアス電流導入法の効果が少なく,Crイオンの励起順位間に数密度の変化が起こるためと考えられる.バイアス電流導入によるCrの発光線強度の変化が,Niの場合と同様であったので,バイアス電流導入による発光強度の増大が様々な原子線に対して有効であると考えられる.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 2004-11-05
著者
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