バイアス電流導入型高周波グロー放電プラズマにおける励起機構

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概要

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• 2004-09-01

著者

• 我妻 和明

  東北大学金属材料研究所

• 児玉 憲治

  東北大学金属材料研究所

• 我妻 和明

  東北大金研

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