三電極型グロー放電管の開発とその分光特性
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概要
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グロー放電発光分析法において,通常では不可能な試料のスパッタリング過程とプラズマ中での励起過程を独立して制御することを目的として,新しいグロー放電管の試作を行い,その分光特性について検討を行った.プラズマの点灯,試料のスパッタリング双方に異なる周波数で変調法を適用し,高速フーリエ変換器を用いて発光信号の周波数分離を行った.スパッタリング時に印加する電圧を適正に調整し,かつスパッタリング時の周波数に着目して信号を取り出すことにより,プラズマガス成分はほとんど検出されない発光信号を取り出すことに成功した.本手法はプラズマガス中の不純物元素に影響されない,新たな発光分析法として有望であると考えられる.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 2006-10-05
著者
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