K-2322 強磁性形状記憶合金Ni_2MnGaスパッタ膜の機械的特性(J03-4 知的複合材料)(J03 知的材料・構造システム)
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概要
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The Ni_2MnGa films were deposited on an alumina substrate with a radio-frequency magnetron sputtering apparatus using Ni_<50>Mn_<25>Ga_<25> and Ni_<52>Mn_<24>Ga_<24> targets. The sputtering power was 50 or 200 W. The thickness of the deposited films was about 5 μm. After deposition, the films were annealed at 873-1173 K. for 3.6 or 36 ks. The as-deposited films were crystalline and had columnar grains. After heat treatment, the grains widened and the grain boundary became indistinct with increasing heat treatment temperature. MnO and Ni_3(Mn, Ga) precipitations were observed in the heat-treated films. The mechanical properties of the films were measured by the nanoindentation method. Hardness and elastic modulus of as-deposited films were larger than that of arc-melted bulk samples. The hardness of the films was changed between 600 and 300 affected by the composition, crystal structure, microstructure and precipitation, etc. The elastic modulus of the films was also changed from 140 to 90 GPa with heat treatment conditions.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
-
高木 敏行
東北大流体研
-
大塚 誠
東北大学多元物質科学研究所
-
大塚 誠
東北大多元研
-
大井 淳
東北大工院
-
松本 實
東北大多元研
-
板垣 乙未生
東北大多元研
-
大塚 誠
東北大学素材工学研究所
-
松木 實
東北大学
-
板垣 乙未生
東北大 ・ 素材研
-
松本 實
Institute Of Fluid Science Tohoku University
-
松本 実
東北大・素材研
-
大井 淳
東北大院理
-
Itagaki Kimio
Institute For Advanced Materials Processing Tohoku Univ
-
大塚 誠
東北大学素材研
-
Matsumoto Minoru
Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University
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