933 金属ナノクラスターを含むダイヤモンドライクカーボン膜温度センサの作製と機能評価

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概要

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• This paper describes temperature dependency of electric resistance of metal nano-composite DLC (Diamond-like Carbon) film considering its application to temperature sensors. DLC has many attractive properties such as low friction, low wear resistivity, chemical inertness etc. Few reports have shown the application for the temperature sensors of DLC film. We fabricated metal (Chromium) containing DLC (Metal nanocomposite DLC : Me-DLC) film and measured the temperature dependency of electric resistivity. After measuring temperature dependency we evaluated relation between the composite atomic concentration (C, O, Si, Cr) and resistivity of Me-DLC film.

• 2002-09-20

著者

• 高木 敏行

  東北大流体研

• 阿部 利彦

  東北大学 流体科学研究所

• 佐藤 武志

  東北大学流体科学研究所

• 佐藤 武志

  東北大流体研

• 竹野 貴法

  東北大院・工

• ボシュコ アレクセイ

  モスクワ国立大

• シュペイギン ミハイル

  モスクワ電工大

• 竹野 貴法

  東北大学国際高等研究教育機構

• 阿部 利彦

  産業技術総合研究所

• Shupegin M.

  モスクワ電力工学研究所

• Bozhko A.

  モスクワ国立大

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