102 多機能薄膜センサとしての応用を目指したME-C:H薄膜の特性の評価(知的材料・構造システム)

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概要

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• An electromagnetic property in a Ni-containing diamond-like carbon film was reported. The film was deposited onto polycrystalline silicon using chemical vapor deposition and the co-sputtering of a Nickel target. The temperature dependence on resistivity was measured in the temperature range of 80-400K. Ac resistance was measured by the four-terminal method. The electric conduction mechanism of these films obeys the hopping conduction model. The reluctance was measured under magnetic field of 0 to 50kOe applied to the normal direction of a test piece. The 0.8% magnetoresistance was observed at room temperature.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-11-25

著者

• 三木 寛之

  東北大学流体科学研究所

• 三木 寛之

  東北大流体研

• 高木 敏行

  東北大流体研

• 佐藤 武志

  東北大学流体科学研究所

• 星 悠太郎

  東北大・院

• 竹野 貴法

  東北大・院

• 佐藤 武志

  東北大流体研

• 竹野 貴法

  東北大学国際高等研究教育機構

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