歪みセンサへの応用を目指したタングステンを含む非晶質炭素膜の特性評価

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概要

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• 2010-02-25

著者

• 三木 寛之

  東北大学流体科学研究所

• 高木 敏行

  東北大学流体科学研究所

• 竹野 貴法

  東北大学国際高等融合領域研究所

• 大野 威

  東北大学大学院工学研究科

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