310 柔らかい基板への非晶質炭素膜の成膜とその密着性及び膜構造の評価(機械材料・材料加工I)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2006-03-14

著者

• 三木 寛之

  東北大学流体科学研究所

• 三木 寛之

  東北大流体研

• 高木 敏行

  東北大流体研

• 竹野 貴法

  東北大院・工

• 竹野 貴法

  東北大学国際高等研究教育機構

• 水谷 謙一

  東北大・工

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