(14)クローズド構造をもつ超精密加工機の試作とその制御

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1998-05-05

著者

• 佐田 登志夫

  豊田工業大学

• 竹内 芳美

  電気通信大学

• 沢田 潔

  ファナック(株)

• 今井 圭介

  ファナック(株)

• 沢田 潔

  ファナック

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