超精密位置決め用回転アクチュエータの開発
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概要
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The study deals with the development of a highly accurate rotational positioning actuator, based on the idea of an"Inchworm translator"for precise linear positioning. The actuator is designed for rotational motion and combines piezoelectric actuators with a stroke magnification mechanism. Based on experimentation, it is confirmed that the actuator correctly functions with a rotational resolution of less than 6.25×10^<-7> rad and a holding torque of more than 0.26 N・m. As a result, the actuator is shown to have the potential to become an accurate rotational positioning actuator.
- 1989-09-25
著者
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