超精密5軸加工機を用いた3次元微小形状の加工

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概要

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• 1999-09-01

著者

• 佐田 登志夫

  豊田工業大学

• 竹内 芳美

  電気通信大学

• 沢田 潔

  ファナック(株)

• 米倉 洋

  電気通信大学

• 酒井田 康宏

  ファナック(株)

• 沢田 潔

  ファナック

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