1p-TA-5 Si(100)表面上のO_2分子の解離

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1990-03-16

著者

• 押山 淳

  筑波大学物理学系

• 宮本 良之

  Nec基礎研

• 宮本 良之

  日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 押山 淳

  日本電気(株)基礎研究所

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