28a-D-9 シリコン中不純物の拡散

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1991-09-12

著者

• 押山 淳

  筑波大学物理学系

• 押山 淳

  Necマイクロエレクトロニクス研

• 杉野 修

  東大理

• 杉野 修

  Necマイクロ研

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