27a-ZH-4 RF電極シースの動特性と電子エネルギー分布

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本物理学会の論文
• 1991-09-12

著者

• 奥野 喜裕

  佐賀大・理工

• 藤田 寛治

  佐賀大理工

• 大津 康徳

  佐賀大理工

• 奥野 喜裕

  佐賀大理工

関連論文

• 第20回電離気体現象に関する国際会議
• 流体モデルを用いた非対称RF放電プラズマのモデリング
• 24aB15P 酸素プラズマスパッタ法による酸化ジルコニウム薄膜合成に及ぼすターゲット状態の影響(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 27aZA-8 電子レンジを用いた科学創造性育成のための教材開発(27aZA 物理教育,領域13(物理教育,物理学史,環境物理))
• 27aUC-12 紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成(27aUC プラズマ基礎(強結合系),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 29pA04P ECRマイクロ波スパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布の計測(プラズマ基礎・応用)
• 高周波放電プラズマにおけるサブミクロン微粒子のダイナミクス
• 低気圧rf微粒子プラズマ中の電位形成
• 25a-F-10 直流バイアス基板前面シースの電位構造に対する負イオンの効果
• 25a-F-9 磁気フィルターによる電子温度低下の制御パラメータ
• 31p-YL-11 磁気フィルターを用いた高周波プラズマの電子温度制御
• ハイブリッドプラズマCVDによる炭素膜作製に及ぼす基板温度の影響
• 12p-DF-9 電子ビーム源を用いた弱電離プラズマ中の放電開始
• プロセスプラズマの診断と制御
• 直流電位が印加された境界プラズマ中の電位分布
• 1p-Z-5 電流駆動型イオン音波不安定性中の電位分布
• 24aA35P 精密サイズ連続可変式ペレット入射法の開発とコード計算(トカマク, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 24aB14P C_2H_2F_2ガスを用いた高周波プラズマCVDによる超撥水性薄膜合成とその密着性向上(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 27aXG-2 イオンフロー中での複数の微粒子によるイオン摩擦力に関するPICシミュレーション(プラズマ基礎(輸送・非線形),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 25pA18P イオンフロー中で微粒子が受けるイオンドラッグ力に関するPICシミュレーション(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 27pA27P ダストプラズマ中におけるクーロンクラスターの回転機構(プラズマ基礎・応用)
• 非線形LC回路における正のソリトンと負のソリトンの衝突
• 1a-J-5 境界プラズマ内の不安定波動の励起機構
• 3p-H-6 境界プラズマにおける電流駆動型不安定性による電位形成
• 29p-KL-3 境界プラズマ中の移動電荷2重層
• 22aYA-2 ペレットアブレーションにおける高密度中性粒子・プラズマ共存現象
• 27aC03P プラズマによる水素ペレット溶発の基礎過程(プラズマ基礎・応用)
• 27pA28P ペレットアブレーションにおける高密度溶発雲の流れの考察(プラズマ基礎・応用)
• 光CVDによる光学薄膜の合成
• 5p-F6-1 磁化プラズマ中の電位緩和過程
• 4a-F6-13 イオンビーム不安定系におけるビームエネルギーの挙動
• 5p-C4-3 プラズマプロセシング用高周波磁化プラズマ源の開発
• 磁化プラズマにおける磁界を横切る電位ジャンプの形成機構
• 高時間分解能を有するプラズマ電位の新しい測定法
• 1a-J-9 セパラトリックス磁場配位におけるドリフト不安定性
• 14a-DG-11 高周波マグネトロンシートプラズマの放電構造
• ハイブリッドプラズマCVDによるダイヤモンド状炭素膜の合成 : 入射イオンエネルギー効果
• 高周波プラズマ中の陰極シ-スの構造 (平成3年度理研シンポジウム「プラズマの基礎過程--最近のシ-ス問題」(1991年12月16日開催)特集号)
• 27a-ZH-4 RF電極シースの動特性と電子エネルギー分布
• 3p-TC-4 高周波プラズマのイオンエネルギー分布計測
• 2a-NXE-2 ダブルレイヤーにおけるイオンの役割
• 非線形送電線路における異常電圧の伝播特性
• 26aB05P 容量結合型放電における高密度プラズマ生成に与える酸化物電極の影響(プラズマ基礎・応用)
• 27p-G-2 ソリトンによるプリカーサー衝突の熱化傾向
• 2a-E-7 ソリトンによるプリカーサーの生成と動特性
• 1p-RD-4 多種イオンプラズマ中のイオンビーム不安定性II
• 11a-R-12 多種イオンプラズマ中のイオンビーム不安定性
• 30a-W-33 放電プラズマ中のダブルレイヤーの形成
• 3p-H-5 電子シースにおける電荷二重層の形成の動特性
• 11a-R-5 弱電離プラズマにおける電荷二重層の生成と消滅
• 29p-KL-2 電荷二重層における負電位スパイクの観測
• 26pXG-9 リングアンテナによる高周波放電プラズマ中で捕捉された微粒子雲に対する紫外線照射の影響(プラズマ基礎(ダスト・応用・その他),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• エミッシブプローブによるプラズマの電位測定
• 25pB04 酸素誘導結合型プラズマによる酸化ジルコニウム薄膜合成(プラズマ基礎・応用I)
• 25pA19P 紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 1p-P-2 エミッシブグリッドによるイオン音波の励起
• 27a-G-12 イオンビームがイオン波の伝播特性に及ぼす影響
• 2p-E-3 イオン波の受信特性に及ぼすイオンビームの影響
• 佐賀でのリフレッシュ理科教室
• 27aC05P 反射イオンビームの2次元速度空間での拡がり(プラズマ基礎・応用)
• 佐賀会場でのリフレッシュ理科教室
• 27pA05P 正バイアス基板反射イオンビームの2次元速度空間構造(プラズマ基礎・応用)
• 27aA03 誘導結合型プラズマ生成に及ぼすアンテナ形状の影響(プラズマ基礎・応用)
• 25pH-1 バイアス基板に入射するイオンエネルギー分布に及ぼす印加周波数の影響
• 13p-DG-1 RFを用いたプラズマ生成
• プラズマプロセシングにおけるシ-スの役割 (最近のシ-ス問題)
• 直流平板マグネトロンCVDによる酸化すず薄膜合成に及ぼすプラズマ特性の影響
• 29aA06P 大気圧バリア放電特性に及ぼす高2次電子放出・強誘電体電極材料の影響(プラズマ応用)
• 29aA05P エネルギーの異なるプラズマイオン交互注入による炭素系硬質薄膜合成(プラズマ応用)
• 02aC27P アブレーション現象研究のための連続的サイズ可変式ペレット入射法の開発(ヘリカルII)
• 02aB11P 負極性パルス高電圧バイアス型高周波プラズマCVDによる機能性ダイヤモンド状薄膜合成(プラズマ応用)
• 17pRA-5 高周波誘導結合型プラズマ中の高周波電位形成と電子二次元速度分布関数
• 27pA31P 狭ギャップ容量結合型高周波放電における電極間距離・圧力の影響(プラズマ基礎・応用)
• 20aTD-3 方向性アナライザーを用いた反射イオンビーム2次元速度空間構造の観測
• 7aSR-2 方向性アナライザによるイオンビームの2次元速度分布の計測(プラズマ基礎・応用(波動・相対論的プラズマ他),領域2)
• 31p-H3-12 イオンビーム不安定系における飽和機構の解明(プラズマ物理・核融合(カオス,イオン波,ソリトン他))
• 2p-H3-2 カスプ磁界プラズマにおける2次元電位分布(プラズマ物理・核融合(ミラー磁場,マイクロ波他))
• 1a-BC-7 磁界に垂直な電位形成と低周波波動の励起(プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎,理論・シミュレーション),第41回年会)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク