奥野 喜裕 | 佐賀大・理工
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概要
関連著者
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奥野 喜裕
佐賀大・理工
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藤田 寛治
佐賀大学理工学部
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藤田 寛治
佐賀大理工
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奥野 喜裕
佐賀大学理工学部電気工学科
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矢倉 信也
佐賀大学理工学部電気工学科
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藤田 寛治
佐賀大・理工
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藤田 寛治
佐賀大学理工
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芳尾 真幸
佐賀大学理工学部機能物質化学科
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池田 進
佐賀大学理工学部工業化学科
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矢倉 信也
佐賀大・理工
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荒尾 真幸
佐賀大学理工学部工業化学科
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大津 康徳
佐賀大学理工学部
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古川 潤一
佐賀大学理工学研究科電気工学専攻
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大津 康徳
佐賀大学
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村田 健治
佐賀大・理工
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池田 進
佐賀大学機器分析センター
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芳尾 真幸
佐賀大学機器分析センター
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大津 康徳
佐賀大理工
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藤田 寛治
佐賀大学
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奥野 喜裕
佐賀大理工
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矢倉 信也
佐賀大学 理工学部 電気
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奥野 喜裕
佐賀大学・理工
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矢倉 信也
佐賀大学理工
著作論文
- ハイブリッドプラズマCVDによる炭素膜作製に及ぼす基板温度の影響
- プロセスプラズマの診断と制御
- 光CVDによる光学薄膜の合成
- 5p-F6-1 磁化プラズマ中の電位緩和過程
- 5p-C4-3 プラズマプロセシング用高周波磁化プラズマ源の開発
- 14a-DG-11 高周波マグネトロンシートプラズマの放電構造
- ハイブリッドプラズマCVDによるダイヤモンド状炭素膜の合成 : 入射イオンエネルギー効果
- 高周波プラズマ中の陰極シ-スの構造 (平成3年度理研シンポジウム「プラズマの基礎過程--最近のシ-ス問題」(1991年12月16日開催)特集号)
- 27a-ZH-4 RF電極シースの動特性と電子エネルギー分布
- 3p-TC-4 高周波プラズマのイオンエネルギー分布計測