20aPS-61 マイクロ波 ECR プラズマを用いた CN_x の作製と評価
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2003-08-15
著者
-
財部 健一
岡理大理
-
有屋田 修
アリオス(株)
-
有屋田 修
Arios Inc.
-
財部 健一
岡山理科大学
-
有屋 田修
アリオス(株)
-
田渕 秀和
岡理大理
-
田渕 秀和
岡山理科大学
-
財部 健一
岡山理科大
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