有屋 田修 | アリオス(株)

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概要

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• 有屋田 修

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  Arios Inc.

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• 和田 元

  同志社大院工

• 和田 元

  Doshisha University

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  同志社大学工学部

• 財部 健一

  岡理大理

• 大鉢 忠

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• 山邊 信彦

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• 折出 和章

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• 武田 祥宏

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• 財部 健一

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著作論文

• 01aB01 RF-MBE法に用いる窒素ラジカル源の低輝度と高輝度励起モード切換(半導体エピ(1),第36回結晶成長国内会議)
• 20aPS-61 マイクロ波 ECR プラズマを用いた CN_x の作製と評価

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