26p-F-4 X線CTR散乱によるSi(001)表面上のSiO_2薄膜の構造解析
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1992-09-14
著者
-
高橋 功
名大・工
-
高橋 功
関西学院大学理学部
-
原田 仁平
名大・工
-
梅野 正隆
大阪大学大学院工学研究科
-
原田 仁平
理学電機(株)x線研究所
-
中野 晃軌
名大・工
-
梅野 正隆
阪大・工
-
志村 考功
名大・工
-
佐俣 秀一
東芝半導体技術部
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