15a-DJ-13 Si(111)表面のエッチング処理による形態変化 : X線CTR散乱による研究

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-09-20

著者

• 山田 一美

  名古屋大学・工学部

• 高橋 功

  関西学院大学理学部

• 原田 仁平

  理学電機(株)x線研究所

• 原田 仁平

  名古屋大学

• 高橋 功

  名古屋大学工学部応用物理学科

• 高橋 功

  名古屋大学・工学部

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