結晶成長表面のX線散乱による観察(<特集2>原子レベルでの結晶成長)
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概要
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The relationship between the intensity distribution of the CTR scattering and the surface roughness of a crystal is discussed by developing a kinematic theory for the CTR scattering. The intensity of the CTR scattering elongated from a Bragg poing is shown to be reduced by a factor |Γ(q)|^2 for a surface possessing some roughness, where Γ(q) is defined by a simple Fourier summation ofγ_p, the relative area with the same step height p on a surface, I. E. Γ(q)=Σ^^∞__<p=0>γ_p{2πip・q} with Σ__pγ_p=1, q being the distance in the reciprocal space from the Bragg point along the CTR scattering. The pair correlation function between the steps can, therefore, be obtained by Fourier integral of the observed damping factor |Γ(q)|^2.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1992-03-15
著者
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