30a-ZB-7 X線解析を用いたSi熱酸化膜中微細結晶相の研究(3)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1992-03-12

著者

• 高橋 功

  名大・工

• 高橋 功

  関西学院大学理学部

• 原田 仁平

  名大・工

• 原田 仁平

  理学電機(株)x線研究所

• 飯田 裕

  名大・工

• 志村 考功

  名大・工

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