2a-N-9 非対称反射X線散漫散乱法によるSi単結晶の加工歪層の評価

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1985-09-13

著者

• 原田 仁平

  名大・工

• 原田 仁平

  名大工

• 原田 仁平

  理学電機

• 柏倉 伸男

  岐大・工

• 柏倉 伸男

  名大・工

• 柏原 泰治

  名大・工

• 柏原 泰治

  原研大型放射光

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