24aY-2 ナノメータスケールSi(001)開口部に選択成長したSi結晶のファセット形成
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1999-09-03
著者
-
藤田 研
Jrcat-atp : (現)沖電気
-
市川 昌和
東大工
-
市川 昌和
Jrcat-atp
-
柴田 元司
Rwcp適応デバイス
-
柴田 元司
Jrcat-atp
-
柴田 元司
東北大工
-
新田 芳基
JRCAT-ATP
-
市川 昌和
東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻
-
市川 昌和
Jrcat
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