微粒ダイヤモンド砥石によるシリコンウエハの正面研削
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概要
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芳香族ポリエステル系結合剤から成る微粒ダイヤモンド砥石によるシリコンウエハの正面研削について加工面の平面度および加工面品位について検討し, 以下に示す結果を得た.(1)シリコンウエハの正面研削の平面度について, 研削系の剛性評価微小引っかき実験研削実験から検討した.平面度に関する誤差は切残しの差が主原因である.この切残しは単位時間当たりの除去体積に比例する研削抵抗の垂直成分によって定まる.(2)シリコンに溶去作用のある水酸化カリウム(KOH)溶液を研削液として用いた機械-化学複合研削の場合, 機械-化学の複合作用によって, 研削抵抗, 平面度に関する誤差, クラックの発生および加工変質層深さを低減できる.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1982-09-05
著者
-
渡辺 純二
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
-
三宅 正二郎
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
-
三宅 正二郎
日本電信電話(株)
-
中田 宏
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
-
黒田 久雄
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
-
三宅 正二郎
日本電信電話(株)電気通信研究所
-
黒田 久雄
日本電信電話(株)電気通信研究所
-
渡辺 純二
日本電信電話(株)
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