Nd : YAGレーザとKOH液を用いたレーザアシストエッチングによるセラミックスのマイクロ形状加工
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Laser-assisted etching (LAE) using an Nd : YAG laser and KOH solution has been carried out in microfabrication of ceramic materials. Three types of LAE have been considered depending on the laser beam conditions and materials conditions. The following results have been obtained. (1) Microfabrications resembling microcantilevers, 30 pm wide I OOO pm long, were formed on thin ceramic substrates using a Q-switched single-mode beam. (2) Three-dimensional figures were formed on substrates comprising laminations of several kinds of ceramic sheets, applying the differences of appropriate beam power conditions to a variety of ceramic materials. (3) High efficiency, high accuracy microfabrications were achieved by using ceramic masks made by LAE.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1989-12-05
著者
関連論文
- 微粒ダイヤモンド砥石によるシリコンウエハの正面研削
- Si単結晶のメカノケミカルポリシングにおける加工速度促進機構 : メカノケミカルポリシングの研究(第2報)
- フェライトの精密研削 (第2報) : 固体潤滑剤を充てんした微粒ダイヤモンドレジノイドボンド磁石の摩耗
- フェライトの精密研削 (第1報) : 耐摩耗性レジノイドボンドダイヤモンド砥石の研削特性
- 超伝導素子実装用部品の製作(第2報) : マイクロピンの形成とボンディング技術
- 超伝導素子実装用部品の製作(第1報) : マイクロソケット製作技術
- 半導体基板の非接触研磨技術
- 複合構成半導体基板自動加工システムの開発
- 磁気ディスク用Al陽極酸化基板の高精度加工(資料)
- サファイア単結晶のコロイダルシリカによる無じょう乱加工
- 熱酸化したSi基板のそり
- 磁気ヘッドフェライトコアのガラス接着の研究
- ポリシングによる加工変質層とその磁気特性に与える影響 : フェライトの加工変質層 (第2報)
- 研削とラッピングにおけるフェライト破壊層 : フェライトの加工変質層(第1報)
- Nd : YAGレーザとKOH液を用いたレーザアシストエッチングによるセラミックスのマイクロ形状加工
- ファインセラミックスの精密加工技術(精密機器材料としてのファインセラミックス)
- Nd : YAGレーザとKOH液によるAl_2O_3/TiCセラミックスのレーザアシストエッチング
- 機械的微細加工技術(超微細加工技術の進展)
- セラミックス辞典, 窯業協会偏, 丸善株式会社発行, A5判, 545ページ, 昭和61年1月刊
- 相補形誘電体分離基板の製作におけるSi異方性エッチング
- アレーベア光ファイバーの一括端面加工
- 光ファイバの端面研磨と加工変質層 : 加工変質層と反射減衰量の関係