サファイア単結晶のコロイダルシリカによる無じょう乱加工
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概要
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SOS用サファイア単結晶の無じょう乱加工において, ポリシ剤のコロイダルシリカをSiO_2とアルカリ性液の作用に分離して各々の化学的作用の有無を加工特性から検討した.更に, 本加工法を他種結晶に適用した場合と比較するとともに加工機構について考察した.要約すると, (1)加工速度の増大に対するアルカリ性液の化学的作用の効果は認められない.(2)湿式ポリシングではSiO_2とサファイアとのメカノケミカル効果は極めて小さい.これは, 乾式に比べ加工速度が1/18以下, 加工面のIMA分析によるSiイオン強度が1/6とそれぞれ低いことから明らかである.(3)コロイダルシリカによる加工速度は, 各種結晶のビッカース硬さのべき関数として表され, コロイダルシリカのゲル化速度を変えることによって増減できる.これらから, サファイア単結晶のコロイダルシリカによる加工作用は, SiO_2やアルカリによる化学的効果よりも機械的微小除去作用によるところが大である.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1981-12-05
著者
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