LSI搬送装置用集電機構の開発

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概要

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• Ensuring cleanliness is a key factor in LSI production. Of particular importance here is the generation of dust particles at the current collector of the transfer carriage. This paper describes the development of a new current collection mechanism. A rolling contact collector has been developed which collects current through a current collection ring which rolls on the power line. Use of this new collector was seen to result in a decrease in dust particle generation down to a tenth of the case for a conventional collector.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1986-05-25

著者

• 黒田 久雄

  日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所

• 黒田 久雄

  日本電信電話(株)電気通信研究所

• 坂野 進

  日本電信電話(株)電気通信研究所

• 坂野 進

  日本電信電話(株)電気電信研究所

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