ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ曝露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング
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概要
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- 2013-04-10
著者
-
幾世 和将
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
吉村 智
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
杉本 敏司
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
-
村井 健介
独立行政法人産業技術総合研究所
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