幾世 和将 | 大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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概要
関連著者
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幾世 和将
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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吉村 智
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科
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木内 正人
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
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浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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木内 正人
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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浜口 智志
京都大学大学院エネルギー科学研究科
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Hamaguchi Satoshi
Niigata Univ. Niigata Jpn
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Hamaguchi Satoshi
Environmental Science And Technology Graduate School Of Science And Technology Niigata University
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Hamaguchi S.
Dept. Of Environ. Sci. Fac. Of Sci. Niigata Univ.
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塚崎 泰裕
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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唐橋 一浩
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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滝澤 敏史
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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杉本 敏司
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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村井 健介
独立行政法人産業技術総合研究所
著作論文
- CF_3^+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果
- 光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測定
- ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ曝露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング