光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測定
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概要
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Etching yields of SiO2 by CF3 ion beam injections with or without simultaneous light irradiation have been measured by a low-energy mass-selected ion beam system. A Xe Lamp, an L2D2 lamp, an Ar ICP (inductively coupled plasma) or a VUV (Vacuum Ultraviolet) Lamp was used separately as the light source. The etching yield is the ratio of the number of incident ions to that of removed atoms. The obtained SiO2 etching yields by simultaneous irradiation of CF3 ions and photons from the light source were smaller than those by ion beam irradiation only. This difference in etching yields may be caused by modification of CFx polymer formation on the substrate surface during the beam etching process.
- 日本真空協会の論文
- 2008-03-20
著者
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
幾世 和将
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
吉村 智
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
唐橋 一浩
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
滝澤 敏史
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
浜口 智志
京都大学大学院エネルギー科学研究科
-
Hamaguchi Satoshi
Niigata Univ. Niigata Jpn
-
Hamaguchi Satoshi
Environmental Science And Technology Graduate School Of Science And Technology Niigata University
-
Hamaguchi S.
Dept. Of Environ. Sci. Fac. Of Sci. Niigata Univ.
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
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