唐橋 一浩 | 大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
唐橋 一浩
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
吉村 智
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
浜口 智志
京都大学大学院エネルギー科学研究科
-
Hamaguchi Satoshi
Niigata Univ. Niigata Jpn
-
Hamaguchi Satoshi
Environmental Science And Technology Graduate School Of Science And Technology Niigata University
-
Hamaguchi S.
Dept. Of Environ. Sci. Fac. Of Sci. Niigata Univ.
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
-
幾世 和将
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
日根 清裕
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
滝澤 敏史
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
著作論文
- 低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたSiO_2/Si基板へのインジウムイオン注入
- 光照射を重畳したCF_3イオンビームによるSiO_2エッチング率の測定
- 質量分離フルオロカーボンイオンビームによるシリコン酸化膜エッチング表面反応