質量分離フルオロカーボンイオンビームによるシリコン酸化膜エッチング表面反応

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2007-02-10

著者

• 唐橋 一浩

  大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター

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