低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いた金の堆積率の測定
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概要
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Au deposition rates were measured as a function of Au ion injection energy with the use of a low-energy mass separated ion beam deposition apparatus. Unlike similar measurements reported earlier, in the present experiments, the quality of ion beams (i.e., their mass and energy spectra) was also examined. In the deposition experiments, the Au ion beam was injected into a gold-coated quartz crystal microbalance (QCM), which measures the mass of deposited Au atoms for the given ion beam current. The measured deposition rates in the energy range of 40-200 eV are consistent with those reported in earlier works.
- 日本真空協会の論文
- 2006-03-20
著者
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
吉村 智
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
日根 清裕
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
前田 拓也
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
浜口 智志
京都大学大学院エネルギー科学研究科
-
Hamaguchi Satoshi
Niigata Univ. Niigata Jpn
-
Hamaguchi Satoshi
Environmental Science And Technology Graduate School Of Science And Technology Niigata University
-
Hamaguchi S.
Dept. Of Environ. Sci. Fac. Of Sci. Niigata Univ.
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
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