CF_3^+イオンビームを用いたポリメタクリル酸メチル樹脂のエッチングにおける紫外光照射の効果
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概要
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Effects of ultraviolet (UV) light irradiation on a polymer dry etching process have been investigated with the use of a low-energy mass-selected ion beam system. The effective etched depth of polymethylmethacrylate (PMMA) by CF3+ ion beam injection and/or UV light irradiation was evaluated from the decrement of PMMA film weight measured by a quartz crystal microbalance. A significant enhancement of the etched depth of PMMA was observed when a CF3+ ion beam was injected to PMMA substrate with UV light irradiation. The etched depth of PMMA during simultaneous irradiation of CF3+ ion beams and UV light was greater than the sum of those obtained from separate CF3+ ion beam or UV light irradiation processes.
- 日本真空協会の論文
- 2009-03-20
著者
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
幾世 和将
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
吉村 智
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
塚崎 泰裕
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
浜口 智志
京都大学大学院エネルギー科学研究科
-
Hamaguchi Satoshi
Niigata Univ. Niigata Jpn
-
Hamaguchi Satoshi
Environmental Science And Technology Graduate School Of Science And Technology Niigata University
-
Hamaguchi S.
Dept. Of Environ. Sci. Fac. Of Sci. Niigata Univ.
-
浜口 智志
大阪大学大学院工学研究科
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
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