村井 健介 | 独立行政法人産業技術総合研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 独立行政法人産業技術総合研究所の論文著者

関連著者

• 幾世 和将

  大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター

• 吉村 智

  大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター

• 杉本 敏司

  大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター

• 浜口 智志

  大阪大学大学院工学研究科

• 木内 正人

  大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設

• 村井 健介

  独立行政法人産業技術総合研究所

著作論文

• ポリメタクリル酸メチル樹脂の水素プラズマ曝露と低エネルギーアルゴンイオンビームによるエッチング

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