フリーマン型スパッターイオン源の開発とその製膜への応用
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概要
著者
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木内 正人
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
後藤 誠一
大阪大 大学院工学研究科
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後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
-
松本 貴士
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
木内 正人
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
美本 和彦
大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設
-
松本 貴士
大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設
-
阿川 義昭
日本真空技術(株)
-
吉川 貴文
大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設
-
木内 正人
産業技術総合研
-
大庭 昌俊
日本真空技術株式会社
-
阿川 義昭
日本真空技術株式会社
-
後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
後藤 誠一
大阪大学大学院
-
木内 正人
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
-
吉川 貴文
大阪大学大学院工学研究科,超高温理工学研究施設
-
美本 和彦
大阪大学大学院工学研究科
-
松本 貴士
大阪大学大学院工学研究科
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