有機ケイ素イオンビームを用いたSiCの低温結晶成長
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概要
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- 2000-03-20
著者
-
後藤 誠一
大阪大 大学院工学研究科
-
後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
-
松本 貴士
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
木内 正人
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
松谷 貴臣
産業技術総合研究所
-
竹内 孝江
奈良女子大学
-
木内 正人
大阪工業技術研究所
-
美本 和彦
大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設
-
松本 貴士
大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設
-
木内 正人
産業技術総合研
-
竹内 孝江
産業技術総合研究所
-
松谷 貴臣
大阪工業技術研究所
-
後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
後藤 誠一
大阪大学大学院
-
美本 和彦
大阪大学大学院工学研究科
-
松本 貴士
大阪大学大学院工学研究科
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