有機金属イオンビームによるシリコン基板上へのSiCナノ結晶のヘテロエピタキシャル成長
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概要
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- 2003-07-20
著者
-
杉本 敏司
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
後藤 誠一
大阪大 大学院工学研究科
-
後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
-
松本 貴士
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
木内 正人
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
木内 正人
産業技術総合研
-
杉本 敏司
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
-
後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
-
後藤 誠一
大阪大学大学院
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