27pA26P インバータ電源による両極性パルスプラズマ生成とその応用(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-11-20
著者
-
後藤 誠一
大阪大 大学院工学研究科
-
後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
-
木内 正人
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
後藤 誠一
阪大院工超高温
-
武智 誠次
阪大院工
-
木内 正人
産業技術総合研
-
杉本 敏司
阪大院工
-
木内 正人
大工研
-
田中 勝敏
阪大院工
-
杉本 敏司
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
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