武智 誠次 | 阪大院工
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概要
関連著者
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後藤 誠一
大阪大 大学院工学研究科
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後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
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木内 正人
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
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武智 誠次
阪大院工
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木内 正人
産業技術総合研
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杉本 敏司
大阪大学大学院工学研究科附属原子分子イオン制御理工学センター
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田中 勝敏
阪大院工
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杉本 敏司
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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後藤 誠一
大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター
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後藤 誠一
大阪大学大学院
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武智 誠次
大阪大学大学院工学研究科
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木内 正人
大工研
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木内 正人
大阪工業技術研究所
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田中 勝敏
大阪大学大学院工学研究科附属超高温理工学研究施設
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後藤 誠一
阪大院工超高温
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杉本 敏司
阪大院工
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木内 正人
独立行政法人 国立印刷局滝の川工場 製品設計グループ
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田中 勝敏
大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設
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後藤 誠一
阪大超高温
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木内 正人
独立行政法人 産業技術総合研究所
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武智 誠次
大阪市立大学
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鈴木 裕
大阪市立大学
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武智 誠次
阪大超高温
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杉本 敏司
阪大超高温
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田中 勝敏
阪大超高温
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宮地 和哉
大阪市立大学大学院
著作論文
- インバーター電源励起プロセスプラズマの特性と応用
- インバータ電源生成プラズマのラングミュアプローブ特性
- イオンアシスト蒸着のためのインバータープラズマ装置
- インバータ電源による両極性パルスDC放電プラズマ特性
- 27pA26P インバータ電源による両極性パルスプラズマ生成とその応用(プラズマ基礎・応用)
- 23pB-1 インバーター電源生成によるプラズマ特性
- インバータプラズマ成膜プロセスにおけるイオンアシスト効果